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纳米尺度打磨世界级技术(图)

发布时间:2022-09-20 08:51:51 来源:亿百体育app下载 作者:亿百体育真人官网

  日前发布的《国家中长期科学和技术发展规划纲要(2006-2020年)》,标志着自主创新这一国家战略已经进入实际运筹层面。同时发布的《中央、国务院关于实施科技规划纲要增强自主创新能力的决定》也发出号召:动员全党全社会力量,为建设创新型国家而奋斗。

  安集微电子以纳米尺度瞄准并打造世界级技术的成功实践,再次显示了自主创新的巨大活力。企业是创新体系建设的核心。“自主产权是安集的生命”,他们的这一体会,正是对建设创新型国家战略的最好回应。

  可喜的是,像安集微电子这样以自主创新为使命的企业在上海越来越多。本报今起推出《推进自主创新提升国际竞争力》专栏,分别以“典型案例篇”和“领军人物谱”专题,多侧面、多层次地展现“十一五”开局之年全市大力实施科教兴市主战略、增强自主创新能力的最新进展,敬请读者关注。

  春节刚过,张江一座办公楼里已忙忙碌碌。安集微电子——一家创办1年多的公司正在紧张地调试仪器。在相距十分钟车程的金桥,一片三千多平米的空厂房已准备好,未来一、两个月,设备就将进场安装。

  安集总裁、48岁的俞昌——一个在美国生活了20多年,在多家世界顶级芯片公司工作过的“海归”,已把事业扎根在张江。曾任美国一家世界级芯片材料企业研发主管的他,拥有40多项美国专利,在他们所从事的材料领域,他和另一位“海归”创始人、技术总监王淑敏都是世界级专家,成果被应用于全球各个芯片工厂。

  2004年夏,上海浓厚的创新氛围、“东方硅谷”的前景,吸引他们创办了安集。同时以他们为核心,凝聚起了国内外一流的团队。

  芯片研磨剂,是安集从事的几个重要研发项目中的一个。虽然听起来冷门,却是所有芯片工厂的必需。

  集成电路可谓是在方寸间制造大量导电线路的技术。简单说就是在硅晶圆盘上,用特殊工艺依照设计图刻下窄而深的槽,然后镀上一厚层金属,比如铜。开始,整片硅晶圆上全被铜覆盖,这就需要把表面的铜磨去,直到只剩下槽里的铜——于是就成了远比毫发更细的铜线电路。

  硅晶圆上的槽——或者说导线有多窄?目前主流技术下,芯片的线纳米,或者说,头发直径的1/500;而说起来“深”,实际上也不过头发直径的几十分之一。在微观尺度内,尘粒就是巨石,需要打磨掉的薄薄金属层就是高原。

  实际上,晶圆上需要磨掉的远不止一层铜,这个表面“沟壑”复杂,各种材料“软硬”相异,要在纳米尺度上磨得恰到好处,不多去掉一层,不少打薄一分,关键就在研磨机和晶圆之间的化学试剂。

  俞昌告诉记者,他们用来衡量研磨平整度、稳定度的单位是“埃”,也就是1纳米的1/10。在控制严格的实验室中,空气洁净度的要求最高需要达到100——也就是1立方米空气里不超过100颗尘粒。一套全新的研发设备流水线千万美元。这多少说明了该行业的技术和资金门槛。

  在安集的实验室里,记者见到了最终的产品——就是像稀释过的牛奶,泛着浅浅银光。

  “自主产权是安集的生命。”俞昌表示:“虽然过去我们在美国拥有知识、经验,但是在上海做的完全是安集从头开始、自主创新的成果。”创业至今,安集夜以继日埋头研发。目前已在美国和国内申请了21项专利。根据测试,他们的产品已达到了国际领先水平。

  据了解,目前世界上能成功开发安集所从事的材料的公司只有寥寥几家。国内尽管从2000年开始,兴起了集成电路制造工厂的建厂热潮,但相关高端试剂几乎完全依赖进口,国内仅安集所处市场的规模,每年达2亿美元。

  由于试剂生产企业都在国外,因此国内芯片工厂很难得到迅捷的技术支持。国内提要求,国外研制并空运新配方……一来一去,就是数周。

  每个芯片工厂的工艺、产品都有不同,需要的试剂配方也不尽相同。而且,随着芯片技术的迅速升级,需要不断开发新试剂。这就要求试剂研发企业同芯片工厂保持最快捷的互动,而安集公司和张江的芯片企业,最近的车程只有10分钟,安集的工程师,可以24小时在工厂提供服务。

  机遇总是与挑战并存。目前,国内外已经有一些芯片企业打算或者开始试用安集的产品,但要完全获得市场的信任,需要时间。俞昌表示,计划在3年内成为国内的第一大供应商,同时,稳步参与海外市场竞争。

  创业一年多来,俞昌正和他的团队一起,凭借出色的技术和行业内的声望,参与到国内芯片业的快速发展中。

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